Các phương pháp phát hiện rò rỉ chân không phổ biến

Phát hiện rò rỉ bằng phương pháp khối phổ heli

Công nghệ này là công nghệ không thể thiếu trong lĩnh vực dò tìm rò rỉ chân không. Nó được sử dụng rộng rãi trong việc phát hiện rò rỉ vì hiệu quả phát hiện rò rỉ cao, vận hành dễ dàng, phản hồi thiết bị nhạy, độ chính xác cao và không Các nhà cung cấp Hệ thống sơn PVD Trung Quốc dễ bị nhiễu bởi các khí khác. Máy phát hiện rò rỉ khối phổ heli là một loại thiết bị phát hiện độ kín khí dựa trên nguyên tắc khối phổ, sử dụng heli làm khí chỉ thị rò rỉ. Nó bao gồm một nguồn ion, một bộ phân tích, một bộ thu, một máy đo ion hóa catốt lạnh, một buồng khối phổ, một hệ thống xả và một phần điện. Các electron phát ra từ dây tóc trong buồng khối phổ dao động qua lại trong phòng và va chạm với khí trong nhà và khí heli đi vào phòng qua lỗ rò rỉ để ion hóa thành các ion dương. Các ion heli này đi vào từ trường bên trái và bên phải của điện trường gia tốc, và bị lệch hướng do tác dụng của lực Lorentz, tạo thành quỹ đạo cung tròn và làm thay đổi điện trường gia tốc. Áp suất cho phép các ion có khối lượng khác nhau được phát hiện bằng cách đến cực nhận thông qua từ trường và các khe nhận. Phương pháp phun heli và phương pháp hấp thụ heli là hai phương pháp được sử dụng phổ biến nhất trong việc phát hiện rò rỉ của khối phổ kế.