Thuật ngữ chân không phổ biến 3

1. phạm vi chân không ： Vùng chân không được chia gần đúng như sau:

Pa Torr

Chân không thấp: 10 ⁵ ～ 10 ² 760 ～ 1
Chân không trung bình: 10 ² ～ 10 ^-1 1 ～ 10 ^-3

Chân không cao: 10 ^-1 ～ 10 ^-5 10 ^-3 ～ 10 ^-7

Chân không siêu cao: <10 ^-5 <10 ^-7

2. khí ： Các chất có thể tự do chiếm bất kỳ không gian nào và không phải tương tác giữa các phân tử. Lưu ý: Trong công nghệ chân không, thuật ngữ "khí" không được áp dụng nghiêm ngặt cho các chất khí và hơi nước không ngưng tụ.
3. n ， m-3 mật độ số phân tử ： Tại một thời điểm nhất định, Các nhà cung cấp máy mạ PVD Trung Quốc Số phân tử ở thể tích xung quanh một điểm trong chất khí chia cho thể tích đó.
4. ι 、 λ ， m có nghĩa là đường đi tự do ： Khoảng cách mà một phân tử đi được với các phân tử thể khí khác sau hai lần va chạm liên tiếp được gọi là đường đi tự do. Trung bình của khá nhiều đường dẫn miễn phí khác nhau được gọi là đường dẫn miễn phí trung bình.