Nguyên lý hoạt động của máy sơn chân không là gì？

Trong lĩnh vực tráng phủ, độ dày của mẫu màng sau khi phủ là một yếu tố quan trọng ảnh hưởng đến hiệu suất của màng. Do đó, khi đánh giá tính năng của một mẫu phim, cần phải thử nghiệm tính năng của mẫu phim dưới các độ dày khác nhau. Trong trường hợp lớp phủ chân không, việc này thường đòi hỏi phải chuẩn bị nhiều mẫu. Tuy nhiên, có hai vấn đề khi chuẩn bị mẫu cho nhiều lần: thứ nhất, trạng thái của thiết bị là khác nhau đối với các mẫu được nuôi cấy trong các thời điểm khác nhau, do đó yếu tố ảnh hưởng đến hiệu suất của mẫu màng có thể không chỉ là độ dày; thứ hai, mẫu cần được hút chân không một lần nữa trong thí nghiệm phủ chân không. Việc lấy là rất tốn thời gian. Tăng chi phí sản xuất và thử nghiệm.

Do đó, một hệ thống phủ phún xạ magnetron đa chức năng được cung cấp. Hệ thống này được tích hợp bởi hệ thống sơn chân không và hệ thống hộp đựng găng tay. Nó có thể hoàn thành quá trình bay hơi màng mỏng trong buồng bay hơi chân không cao và có khí trơ độ tinh khiết cao trong hộp găng tay. Việc bảo quản và chuẩn bị mẫu và phát hiện mẫu sau khi bay hơi được thực hiện trong môi trường khí quyển. Sự kết hợp giữa lớp phủ bay hơi và hộp đựng găng tay thực hiện sản xuất hoàn toàn khép kín của quá trình bay hơi, đóng gói, thử nghiệm và các quy trình khác, do đó toàn bộ quá trình tăng trưởng màng và chuẩn bị thiết bị được tích hợp chặt chẽ trong một hệ thống khí quyển môi trường có thể kiểm soát hoàn chỉnh, loại bỏ diện tích lớn hữu cơ Quá trình chuẩn bị mạch Ảnh hưởng của các yếu tố không ổn định trong môi trường khí quyển đảm bảo việc chuẩn bị các thiết bị và mạch quang điện tử hữu cơ diện tích lớn, hiệu suất cao.

Mục đích chính của hệ thống phủ phún xạ magnetron đa chức năng: được sử dụng để chuẩn bị các màng kim loại, màng bán dẫn, màng điện môi, màng magnetron, màng quang học, màng siêu dẫn, màng cảm biến và các màng chức năng đặc biệt khác nhau.