Phân tích công nghệ lớp phủ bốc hơi phổ biến- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Phân tích công nghệ lớp phủ bốc hơi phổ biến

1. Lỗ bay bay hơi điện trở: Nguồn bay hơi điện trở được sử dụng để làm bay hơi các vật liệu điểm nóng chảy thấp, như vàng, bạc, kẽm sulfide, magiê fluoride, crom trioxide, v.v.

2. Chùm điện tử Lớp bốc hơi : Sau khi vật liệu màng bị bốc hơi và bay hơi bằng cách sưởi ấm chùm electron, nó được ngưng tụ trên bề mặt chất nền để tạo thành một màng, đây là một phương pháp sưởi ấm quan trọng trong công nghệ bay hơi chân không.

Có nhiều loại thiết bị như vậy. Với việc áp dụng rộng rãi của công nghệ phim mỏng, không chỉ các yêu cầu đối với các loại màng là nhiều thứ khác nhau, mà cả các yêu cầu về chất lượng của màng còn nghiêm ngặt hơn.

Sự bay hơi kháng thuốc không còn có thể đáp ứng nhu cầu bay hơi của một số kim loại và kim loại. Nguồn nhiệt chùm electron có thể thu được mật độ năng lượng lớn hơn nhiều so với nguồn nhiệt điện trở và giá trị có thể đạt 104-109W/cm2, do đó màng có thể được làm nóng đến 3000-6000C.

Điều này cung cấp một nguồn nhiệt tốt hơn để làm bay hơi kim loại chịu lửa và các vật liệu phi kim loại như vonfram, molypdenum, germanium, SiO2, AI2O3, v.v.

Ngoài ra, nhiệt có thể được thêm trực tiếp vào bề mặt của vật liệu màng, do đó hiệu suất nhiệt cao, và tổn thất phóng xạ nhiệt và nhiệt là nhỏ.

3. Lỗ bay nhiệt độ sưởi ấm mạ: Một phương pháp sưởi ấm tương tự như phương pháp sưởi ấm chùm electron là phương pháp gia nhiệt phóng điện vòng cung. Nó cũng có các đặc điểm để tránh sự ô nhiễm của vật liệu sưởi ấm hoặc vật liệu nồi nấu kim loại, và có các đặc điểm của nhiệt độ sưởi ấm cao, đặc biệt phù hợp với sự bay hơi của kim loại chịu lửa, than chì, v.v. với điểm nóng chảy cao và độ dẫn điện nhất định.

Đồng thời, thiết bị được sử dụng trong phương pháp này đơn giản hơn thiết bị của thiết bị sưởi ấm chùm electron, do đó, nó là một thiết bị bay hơi tương đối rẻ tiền.

4 .. Laser Devaporing Lỗ bay: Phương pháp sử dụng laser xung mật độ công suất cao để làm bay hơi vật liệu để tạo thành màng mỏng thường được gọi là bay hơi laser

5. Lỗ bay nhiệt độ cảm ứng cao trên tần số: Sử dụng nguyên tắc sưởi ấm cảm ứng để làm nóng kim loại đến nhiệt độ bay hơi.

Kim chứa chứa vật liệu màng được đặt ở trung tâm của cuộn xoắn ốc và dòng điện tần số cao được truyền qua cuộn dây, để vật liệu màng kim loại có thể tạo ra dòng điện để tự nóng lên cho đến khi nó bay hơi.

Các tính năng của sự bay hơi nhiệt cảm ứng Nguồn:

1. Tốc độ bay hơi cao

2. Nhiệt độ của nguồn bay hơi là đồng nhất và ổn định, và không dễ để tạo ra hiện tượng giảm nhôm thả nhôm

3. Nguồn bay hơi được sạc tại một thời điểm, không cần cơ chế cho ăn dây, điều khiển nhiệt độ tương đối dễ dàng và hoạt động rất đơn giản

4. Các yêu cầu cho độ tinh khiết của vật liệu màng rộng hơn một chút.

Máy bay không trống bay hơi nhiệt