Phương pháp phổ biến của công nghệ PVD- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Phương pháp phổ biến của công nghệ PVD

Lắng đọng phun

Nghiêng là một kỹ thuật lắng đọng màng mỏng liên quan đến phóng điện phát sáng khí. Có nhiều phương pháp phun, chẳng hạn như phun dòng điện trực tiếp, phun RF và phun phản ứng. Thảo luận từ tính, tần số trung gian Nhà cung cấp hệ thống lớp phủ PVD Trung Quốc Độ phóng xạ, phun dòng điện trực tiếp, phun RF và đường phun chùm ion được sử dụng rộng rãi.

Đặc điểm: Khí trơ (như argon) cần thiết để xả được lấp đầy trong buồng chân không. Theo tác động của điện áp điện điện áp cao, một số lượng lớn các ion dương được tạo ra bằng cách ion hóa các phân tử khí. Khi các ion tích điện được tăng tốc bởi một điện trường mạnh, dòng ion năng lượng cao được hình thành để bắn phá vật liệu nguồn bay hơi (được gọi là mục tiêu). Theo bắn phá ion, các nguyên tử của vật liệu nguồn bay hơi sẽ để lại bề mặt rắn và phun lên chất nền ở tốc độ cao để lắng đọng màng mỏng.

Chia sẻ: