Các phương pháp phổ biến của Công nghệ PVD

Lắng đọng lan tỏa

Phún xạ là một kỹ thuật lắng đọng màng mỏng liên quan đến phóng điện phát sáng khí. Có nhiều phương pháp phún xạ, chẳng hạn như phún xạ dòng điện một chiều, phún xạ RF và phún xạ phản ứng. Phún xạ magnetron, tần số trung gian Các nhà cung cấp Hệ thống sơn PVD Trung Quốc phún xạ, phún xạ dòng điện một chiều, phún xạ RF và phún xạ chùm ion được sử dụng rộng rãi.

Đặc điểm: Khí trơ (chẳng hạn như argon) cần thiết để phóng điện được làm đầy trong buồng chân không. Dưới tác dụng của điện trường cao áp, một số lượng lớn các ion dương được tạo ra do quá trình ion hóa các phân tử khí. Khi các ion tích điện được tăng tốc bởi điện trường mạnh, một dòng ion năng lượng cao được hình thành để bắn phá vật liệu nguồn bay hơi (được gọi là mục tiêu). Dưới sự bắn phá của ion, các nguyên tử của vật liệu nguồn bay hơi sẽ rời khỏi bề mặt rắn và văng vào chất nền với tốc độ cao để tạo ra các màng mỏng.