Phương pháp phát hiện rò rỉ chân không phổ biến

Phát hiện rò rỉ bằng phương pháp quang phổ khối helium

Công nghệ này là một công nghệ không thể thiếu trong lĩnh vực phát hiện rò rỉ chân không. Nó được sử dụng rộng rãi trong phát hiện rò rỉ vì hiệu quả phát hiện rò rỉ cao, hoạt động dễ dàng, đáp ứng dụng cụ nhạy cảm, độ chính xác cao và không Nhà cung cấp hệ thống lớp phủ PVD Trung Quốc dễ dàng bị can thiệp bởi các loại khí khác. Đầu dò rò rỉ quang phổ khối helium là một loại dụng cụ phát hiện độ kín khí dựa trên nguyên tắc quang phổ khối, sử dụng helium làm khí chỉ báo rò rỉ. Nó bao gồm một nguồn ion, máy phân tích, bộ thu, thước đo ion hóa catốt lạnh, buồng quang phổ khối, hệ thống ống xả và bộ phận điện. Các electron phát ra từ dây tóc trong buồng phổ khối dao động qua lại trong phòng và va chạm với khí trong nhà và helium vào phòng thông qua lỗ rò rỉ để ion hóa thành các ion dương. Các ion helium này đi vào từ trường dưới não trái và phải của điện trường tăng tốc và làm lệch hướng do tác động của lực Lorentz, tạo thành một quỹ đạo vòng cung tròn và thay đổi điện trường tăng tốc. Áp lực cho phép phát hiện các ion có khối lượng khác nhau bằng cách tiếp cận cực tiếp nhận thông qua từ trường và các khe cắm. Phương pháp tiêm helium và phương pháp hấp thụ helium là hai phương pháp thường được sử dụng trong phát hiện rò rỉ máy quang phổ khối helium.