Máy hút bụi bay hơi và nguyên tắc vật lý- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Máy hút bụi bay hơi và nguyên tắc vật lý

Sự bốc hơi Máy phủ chân không chủ yếu bao gồm một buồng phủ chân không và hệ thống bơm chân không. Có các nguồn bay hơi (tức là lò sưởi bay hơi), chất nền và giá đỡ cơ chất, thanh điện cực, nguồn cung cấp năng lượng, cricbles, máy sưởi cơ chất, hệ thống ống xả, v.v. trong buồng chân không.

Vật liệu phủ được đặt trong nguồn bay hơi trong buồng chân không. Trong điều kiện chân không cao, nguồn bay hơi được làm nóng để làm bay hơi nó. Khi đường dẫn trung bình tự do của các phân tử hơi lớn hơn kích thước tuyến tính của buồng chân không, các nguyên tử và phân tử của hơi sẽ bay hơi từ nguồn bay hơi. Sau khi bề mặt nguồn thoát ra, nó hiếm khi được va chạm và cản trở bởi các phân tử hoặc nguyên tử khác, và có thể trực tiếp đến bề mặt của chất nền để được mạ. Do nhiệt độ thấp của chất nền, các hạt hơi của vật liệu màng ngưng tụ trên đó để tạo thành một màng.

Để cải thiện độ bám dính giữa các phân tử bay hơi và chất nền, chất nền có thể được kích hoạt bằng cách làm nóng hoặc làm sạch ion thích hợp. Quá trình vật lý của lớp phủ bay hơi chân không từ sự bay hơi vật liệu, vận chuyển đến lắng đọng và hình thành màng như sau:

1. Sử dụng các phương pháp khác nhau để chuyển đổi các dạng năng lượng khác thành năng lượng nhiệt, làm nóng vật liệu màng để bay hơi hoặc siêu phàm và trở thành các hạt khí (nguyên tử, phân tử hoặc nhóm nguyên tử) với một năng lượng nhất định (0,1 ~ 0,3EV):

2. Các hạt khí để lại bề mặt của vật liệu màng và được vận chuyển lên bề mặt chất nền theo một đường thẳng với tốc độ chuyển động đáng kể mà không va chạm;

3. Các hạt khí đến bề mặt của chất nền ngưng tụ và nhân và phát triển thành một màng rắn;

4. Các nguyên tử tạo nên màng được tổ chức lại và sắp xếp hoặc liên kết hóa học.