Cách máy hút bụi của Magnetron Sputtering- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Magnetron Sputtering là một kỹ thuật phủ chân không phổ biến được sử dụng để tạo ra các bộ phim chức năng và trang trí cho một loạt các ứng dụng. Kỹ thuật này được sử dụng rộng rãi trong ngành công nghiệp điện tử, ví dụ, trong việc sản xuất các thành phần điện tử như bộ vi xử lý, chip bộ nhớ, bộ vi xử lý và bóng bán dẫn.

Quá trình phóng xạ liên quan đến việc bắn phá vật liệu mục tiêu bằng DC điện áp cao hoặc công suất DC, RF hoặc AC xung. Quá trình này cũng đòi hỏi một buồng có giá trị cao và máy bơm để giữ cho môi trường sạch sẽ nhất có thể.

Trước khi quá trình phun có thể bắt đầu, buồng phải được lấp đầy bằng một loại khí phù hợp cho quá trình này. Khí này thường là argon nhưng các loại khí khác như oxy cũng có thể được sử dụng. Loại khí chính xác phụ thuộc vào các vật liệu cụ thể được gửi và những đặc tính nào được yêu cầu cho lớp phủ để thực hiện chức năng dự định của nó.

Tùy thuộc vào quá trình bạn đang tìm kiếm, hệ thống điện sẽ thay đổi, nhưng tất cả đều có cùng nguyên tắc cốt lõi: DC điện áp cao hoặc công suất DC xung chảy qua cực âm nơi súng phun và vật liệu đích. Sức mạnh này phải tăng tốc từ điện áp thấp hơn trước khi kích hoạt hoàn toàn quá trình lắng đọng.

Bản thân cực âm được gắn trên đế và có thể có hình tròn hoặc hình chữ nhật phù hợp với yêu cầu ứng dụng của bạn. Cấu hình tròn là tốt nhất cho các hệ thống duy nhất, trong khi cực âm hình chữ nhật là lý tưởng cho các hệ thống nội tuyến.

Khi quá trình phun hoàn thành, thời gian tải chất nền vào buồng xử lý chính và chuẩn bị cho việc lắng đọng. Điều này thường được thực hiện bằng cách gắn nó vào giá đỡ chất nền giữ chất nền và bảo vệ nó trong buồng. Người giữ cũng có thể có một tùy chọn để tải chất nền vào và ra mà không ảnh hưởng đến mức độ chân không.

Trong nhiều hệ thống phun từ tính, chất nền được tải vào buồng lắng đọng qua một cổng, cho phép nó di chuyển vào và ra khỏi buồng khóa tải mà không ảnh hưởng đến môi trường chân không. Điều này ngăn ngừa thiệt hại cho chất nền hoặc vật liệu, và cho phép thay đổi nhanh chóng vật liệu lắng đọng.

Sau khi chất nền được tải, nó được đặt bên trong buồng lắng đọng chính trong đó một khẩu súng phun với vật liệu phủ mong muốn và một khẩu súng phun cho khí được bơm vào buồng sẽ được đặt. Khi khí được đặt đúng vị trí, một từ trường mạnh đằng sau vật liệu mục tiêu sẽ tạo ra các điều kiện để phun ra.

Trong quá trình phun, các ion tích điện năng lượng cao được đẩy ra từ vật liệu mục tiêu lên chất nền. Các ion này có mật độ ion cao, làm cho chúng tương đối ổn định trong bầu không khí phóng xạ và tạo ra tỷ lệ lắng đọng cao. Hình thái ion của vật liệu phun ra trên bề mặt sẽ phụ thuộc vào một số yếu tố, bao gồm góc phân cực ion và năng lượng liên kết bề mặt của các ion.

Mật độ ion và tốc độ phun của các nguyên tử kim loại cũng sẽ bị ảnh hưởng bởi áp suất mà plasma được tạo ra, tức là áp suất MTORR, có thể dao động từ 10-3 đến khoảng 10-2. Tốc độ phun của các vật liệu như chất cách điện và vật liệu dẫn sẽ được giảm do tiềm năng ion hóa ion thấp hơn của các vật liệu này.

Máy sơn tốc độ từ tính

Ion đa arc & lớp phủ phun có thể được gửi trong một loạt các màu sắc. Rang màu sắc có thể được tăng cường hơn nữa bằng cách đưa các khí phản ứng vào buồng trong quá trình lắng đọng. Các khí phản ứng được sử dụng rộng rãi cho lớp phủ trang trí là nitơ, oxy, argon hoặc acetylen. Các lớp phủ trang trí được sản xuất trong một phạm vi màu nhất định, tùy thuộc vào tỷ lệ kim loại trên khí trong lớp phủ và cấu trúc của lớp phủ. Cả hai yếu tố này có thể được thay đổi bằng cách thay đổi các tham số lắng đọng.

Trước khi lắng đọng, các bộ phận được làm sạch để bề mặt không có bụi hoặc tạp chất hóa học. Khi quá trình phủ đã bắt đầu, tất cả các tham số quy trình có liên tục được giám sát và điều khiển bởi một hệ thống điều khiển máy tính tự động.

• Vật liệu chất nền: thủy tinh, kim loại (thép carbon, thép không gỉ, đồng thau), gốm sứ, nhựa, trang sức.

• Loại cấu trúc: Cấu trúc dọc, #304 Thép không gỉ.

• Phim lớp phủ: Phim kim loại đa chức năng, phim tổng hợp, phim dẫn điện trong suốt, phim tăng cường phản xạ, phim che chắn điện từ, phim trang trí.

• Màu phim: Multi Colors, Gun Black, Titanium Golden Color, Rose Golden Color, gỉ màu, màu tím, đen tối, xanh đậm và các màu khác.

• Loại phim: Tin, CRN, ZRN, Ticn, Ticrn, Tinc, Tialn và DLC.

• Vật tư trong sản xuất: Titanium, crom, zirconium, sắt, mục tiêu hợp kim; mục tiêu mặt phẳng, mục tiêu hình trụ, mục tiêu đôi, mục tiêu đối diện.

Chia sẻ: