MỘT Máy phủ ion đa arc , còn được gọi là máy mạ ion, là một loại thiết bị lắng đọng hơi vật lý (PVD) được sử dụng để gửi màng mỏng của các vật liệu khác nhau lên các bề mặt. Quá trình này liên quan đến việc ion hóa vật liệu được lắng đọng trong buồng chân không, và sau đó sử dụng điện trường để tăng tốc các ion về phía bề mặt của chất nền. Vật liệu phủ được bay hơi bằng cách xả hồ quang hoặc phun, và sau đó lắng đọng trên đế theo cách đồng đều.
Các máy phủ ion đa arc được sử dụng trong nhiều ứng dụng khác nhau, bao gồm sản xuất lớp phủ quang học, lớp phủ trang trí, lớp phủ chức năng và lớp phủ cho các công cụ cắt. Việc sử dụng nhiều cung trong quá trình mạ ion cho phép phân phối đồng đều hơn của vật liệu lớp phủ, dẫn đến chất lượng màng tốt hơn và độ dày nhất quán hơn.
Ưu điểm của các máy phủ ion đa arc bao gồm tỷ lệ lắng đọng cao, chất lượng màng tốt và khả năng phủ một loạt các chất nền. Tuy nhiên, quá trình này cũng có một số hạn chế, chẳng hạn như nhu cầu về môi trường chân không cao và chi phí cao của thiết bị.