Những yếu tố nào sẽ ảnh hưởng đến hiệu suất sơn của máy sơn chân không?

Những yếu tố nào sẽ ảnh hưởng đến hiệu suất lớp phủ của máy sơn chân không ?

Máy sơn chân không muốn phủ được màng tốt thì phải đảm bảo nhiều yếu tố ở trạng thái bình thường như: độ phủ chân không, khoảng cách mục tiêu cơ sở, nhiệt độ bay hơi, nhiệt độ nền, áp suất khí dư và các yếu tố khác. Có sự sai lệch trong một yếu tố nào đó. Nó sẽ ảnh hưởng đến hiệu suất của lớp sơn của máy sơn chân không. Sau đây là trình biên tập chân không để giải thích chi tiết những yếu tố nào sẽ ảnh hưởng đến hiệu suất sơn của máy sơn chân không. Tôi hy vọng nó có thể giúp bạn:

1. Tốc độ bay hơi

Kích thước của tốc độ bay hơi có ảnh hưởng lớn đến màng lắng. Vì cấu trúc lớp phủ được hình thành bởi tốc độ lắng đọng thấp nên lỏng lẻo và dễ lắng đọng các hạt lớn, để đảm bảo độ chặt của cấu trúc lớp phủ, rất an toàn khi chọn tốc độ bay hơi cao hơn. Khi áp suất của khí dư trong buồng chân không không đổi, tốc độ bắn phá của chất nền là một giá trị không đổi. Do đó, sau khi chọn tốc độ lắng đọng cao hơn, lượng khí dư chứa trong màng lắng sẽ giảm đi, do đó làm giảm phản ứng hóa học giữa các phân tử khí dư và các phần tử của vật liệu màng bay hơi. Do đó, độ tinh khiết của màng lắng đọng có thể được cải thiện. Cần lưu ý rằng nếu tốc độ lắng đọng quá cao có thể làm tăng ứng suất bên trong của màng, dẫn đến gia tăng các khuyết tật trong lớp phim, thậm chí có thể làm nứt lớp phim trong những trường hợp nghiêm trọng. Đặc biệt, trong quá trình bay hơi phản ứng, tốc độ lắng đọng thấp hơn có thể được chọn để tạo điều kiện cho khí phản ứng và các hạt vật liệu màng bay hơi phản ứng đủ. Tất nhiên, tốc độ bay hơi khác nhau nên được sử dụng cho các vật liệu bay hơi khác nhau. Ví dụ thực tế về việc tỷ lệ lắng đọng thấp có thể ảnh hưởng đến hiệu suất của phim như thế nào là sự lắng đọng của phim phản chiếu. Ví dụ, khi độ dày của màng là 600x10-8cm và thời gian bay hơi là 3s, hệ số phản xạ là 93%. Tuy nhiên, nếu tốc độ bay hơi chậm lại trong cùng độ dày màng, thì phải mất 10 phút để hoàn thành quá trình lắng đọng màng. Lúc này, độ dày của màng là như nhau. Tuy nhiên, hệ số phản xạ đã giảm xuống còn 68%.

2. Nhiệt độ bề mặt

Nhiệt độ bề mặt cũng có ảnh hưởng lớn đến lớp phủ bay hơi. Các phân tử khí dư bị hấp phụ trên bề mặt đế ở nhiệt độ cao dễ bị loại bỏ. Đặc biệt, việc loại trừ các phân tử hơi nước là quan trọng hơn cả. Hơn nữa, không chỉ dễ dàng thúc đẩy quá trình chuyển từ hấp phụ vật lý sang hấp phụ hóa học ở nhiệt độ cao hơn, do đó làm tăng lực liên kết giữa các hạt. Hơn nữa, sự chênh lệch giữa nhiệt độ kết tinh lại của các phân tử hơi và nhiệt độ chất nền có thể được giảm bớt, do đó làm giảm hoặc loại bỏ ứng suất bên trong bề mặt phân cách màng-chất nền. Ngoài ra, vì nhiệt độ bề mặt có liên quan đến trạng thái tinh thể của màng, các lớp phủ vô định hình hoặc vi tinh thể có xu hướng dễ dàng hình thành trong điều kiện gia nhiệt thấp hoặc không có trên bề mặt nền. Ngược lại, khi nhiệt độ cao hơn dễ sinh ra lớp phủ kết tinh. Tăng nhiệt độ bề mặt cũng có lợi cho việc cải thiện các tính chất cơ học của lớp phủ. Tất nhiên, nhiệt độ bề mặt không được quá cao để tránh việc lớp sơn phủ đã bay hơi trở lại.

3. Ảnh hưởng của áp suất khí dư trong buồng chân không đến hiệu suất phim

Áp suất của khí dư trong buồng chân không có ảnh hưởng lớn đến hiệu suất của màng. Nếu áp suất quá cao, các phân tử khí còn sót lại không chỉ dễ va chạm với các hạt bay hơi làm giảm động năng của người bắn lên giá thể ảnh hưởng đến độ bám dính của màng. Hơn nữa, áp suất khí dư quá cao sẽ ảnh hưởng nghiêm trọng đến độ tinh khiết của màng và làm giảm hiệu suất của lớp phủ.

4. Ảnh hưởng của nhiệt độ bay hơi đến lớp phủ bay hơi

Ảnh hưởng của nhiệt độ bay hơi đến hiệu suất của phim được thể hiện bằng tốc độ bay hơi như một hàm của nhiệt độ. Khi nhiệt độ hoá hơi cao thì nhiệt hoá hơi sẽ giảm. Nếu vật liệu phim bị bay hơi trên nhiệt độ bay hơi, ngay cả một sự thay đổi nhỏ về nhiệt độ cũng có thể gây ra sự thay đổi nhanh chóng tốc độ bay hơi của vật liệu phim. Do đó, điều rất quan trọng là phải kiểm soát chính xác nhiệt độ bay hơi trong quá trình lắng màng để tránh gradient nhiệt độ lớn khi nguồn bay hơi được đốt nóng. Đối với vật liệu phim dễ thăng hoa, bản thân vật liệu phim được chọn làm chất gia nhiệt, và các biện pháp như bay hơi cũng rất quan trọng. .

Bốn khía cạnh trên là những yếu tố phổ biến nhất ảnh hưởng đến hiệu suất của lớp sơn phủ của máy sơn chân không, và chúng cũng là những yếu tố ảnh hưởng thông thường nhất. Trong quá trình sơn của máy sơn chân không, cần đảm bảo các yếu tố này ở trạng thái bình thường.