Nguyên tắc cấu trúc của máy phủ chân không- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Nguyên tắc cấu trúc của máy phủ chân không

Máy màng hiện là thiết bị được sử dụng rộng rãi để chế tạo điều kiện chân không. Các thành phần và các thành phần liên quan của nó: bơm cơ học, bơm tăng cường, bơm khuếch tán dầu, bơm ngưng tụ, hệ thống đo độ chân không.
Các buồng biến đổi cơ thể chân không có các yêu cầu khác nhau theo các sản phẩm được xử lý và kích thước của buồng chân không cũng khác nhau. Hiện tại, được sử dụng rộng rãi là 1,3m, 0,9m, 1,5m, 1,8m, v.v. Máy phủ chân không

Chủ yếu chia thành 4 phần, đơn vị chân không, hộp chân không, hệ thống bay hơi, hệ thống điều khiển.
Thiết bị có thể được chia thành: chân không thấp, chân không cao, bộ phận bơm rễ, bộ phận bơm khuếch tán, đơn vị bơm phân tử, đơn vị Cryopump, v.v.
Sự bay hơi được chia thành: bay hơi chùm electron, bay hơi gia nhiệt, bay hơi từ Magnetron, bay hơi đa arc

Chia sẻ: