Vùng chân không

1, Giới thiệu

Thông thường đề cập đến các đường phun từ tính, thuộc về phương pháp phun nhiệt độ thấp tốc độ cao. Khí trơ (AR) được lấp đầy trong chân không và dòng điện trực tiếp điện áp cao được thêm vào giữa khoang và mục tiêu kim loại (cực âm). Khi electron được tạo ra bằng cách phóng điện phát sáng kích thích khí trơ để tạo ra ion dương argon, ion dương di chuyển về phía mục tiêu catốt ở tốc độ cao và nguyên tử mục tiêu bị thổi bay và lắng đọng trên đế nhựa để tạo thành màng. Các nhà sản xuất máy hút bụi của Trung Quốc bay hơi

2, nguyên tắc

Khi các hạt năng lượng cao (thường là các ion dương được tăng tốc bằng điện trường) được sử dụng để bắn phá bề mặt rắn, hiện tượng các nguyên tử và phân tử trên bề mặt rắn trao đổi động năng với các hạt năng lượng cao được gọi là xạ. Các nguyên tử bị văng (hoặc cụm) có một lượng năng lượng nhất định, chúng có thể được lắng đọng lại và ngưng tụ trên bề mặt của chất nền rắn để tạo thành một màng mỏng.

3. Yêu cầu áp suất không khí đối với phép phun chân không

Nhiệm vụ chân không đòi hỏi khí trơ phải được lấp đầy vào trạng thái chân không để nhận ra phóng điện phát sáng và mức độ chân không của quá trình này ở trạng thái dòng phân tử.

4. Dòng chảy quá trình

Theo các đặc điểm của chất nền và mục tiêu, lớp phủ phun chân không cũng có thể được phun trực tiếp mà không cần mồi. Lớp phủ phẳng có thể được thêm vào bằng cách điều chỉnh dòng điện và thời gian, nhưng nó không thể quá dày và độ dày chung là 0,2 ~ 2um.