1. Buồng chân không
thiết bị sơn chủ yếu có hai dạng: dây chuyền sản xuất lớp phủ liên tục và máy phủ một buồng, sản xuất vật liệu thép không gỉ, hàn hồ quang argon, xử lý đánh bóng bề mặt bằng hóa chất, và các thông số kỹ thuật khác nhau của giao diện mặt bích được hàn trên các thành phần của buồng chân không.
2, bộ phận thu nhận chân không
Trong công nghệ chân không, bộ phận thu nhận chân không là bộ phận quan trọng. Việc thu nhận chân không không thể đạt được bằng một thiết bị và phương pháp chân không duy nhất. Một số máy bơm phải được sử dụng kết hợp, chẳng hạn như máy bơm cơ học, máy bơm Roots, hệ thống bơm phân tử, v.v.
3, phần đo chân không
Phần đo chân không của hệ thống chân không là đo áp suất trong buồng chân không. Giống như máy bơm chân không, không có máy đo chân không nào có thể đo được toàn bộ khoảng chân không, vì vậy người ta đã chế tạo ra nhiều loại máy đo chân không theo những nguyên lý và yêu cầu khác nhau. Chẳng hạn như đồng hồ đo cặp nhiệt điện, đồng hồ đo ion hóa, đồng hồ Pirani, v.v.
4. Phần cung cấp điện
Nguồn cung cấp mục tiêu chủ yếu bao gồm nguồn DC, nguồn trung tần, nguồn xung và nguồn tần số vô tuyến (RF). Các nhà sản xuất bộ nguồn phổ biến bao gồm AE, ADL, Hottinger, v.v.
5. Hệ thống đầu vào khí quy trình
Các khí quá trình, chẳng hạn như argon (Ar), krypton (Kr), nitơ (N2), axetylen (C2H2), metan (CH4), hydro (H2), oxy (O2), v.v., thường được cung cấp bởi các bình khí. Van giảm áp gas, van chặn gas, đường ống dẫn, đồng hồ đo lưu lượng gas, van điện từ, van áp điện rồi đưa vào buồng chân không. Ưu điểm của hệ thống đầu vào khí này là đường ống dẫn đơn giản, thông thoáng, dễ dàng sửa chữa, thay thế bình gas. Các máy sơn không ảnh hưởng lẫn nhau. Cũng có trường hợp nhiều máy sơn dùng chung một bộ bình khí. Tình trạng này có thể gặp ở một số xưởng sơn quy mô lớn. Ưu điểm của nó là giảm được sự chiếm dụng của bình gas, quy hoạch thống nhất và bố trí thống nhất. Nhược điểm là do số lượng mối nối tăng lên nên khả năng rò rỉ khí tăng lên. Hơn nữa, các máy tráng sẽ gây nhiễu lẫn nhau, đường ống của một máy sơn này có thể bị rò rỉ khí, ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm của các máy tráng khác. Ngoài ra, khi thay bình gas cần đảm bảo tất cả các máy đều ở trạng thái không còn gas.
6. Phần truyền động cơ khí
Lớp phủ yêu cầu rằng độ dày của ngoại vi phải đồng đều. Vì vậy, phải có ba lần quay trong quá trình phủ thì mới đạt yêu cầu. Nghĩa là, trong khi bàn phôi lớn được yêu cầu quay (I), thì hộp chứa phôi nhỏ cũng quay (II) và bản thân phôi có thể quay cùng một lúc (III). Trong thiết kế cơ khí, thường có một bánh răng dẫn động lớn ở trung tâm của đáy bàn xoay phôi lớn, và một số bánh xe hình sao nhỏ kết nối với nó. Nếu sản phẩm được quay, phôi thường được quay bằng một ngã ba.
7, sưởi ấm và phần đo nhiệt độ
Thiết bị sơn phủ thường có các lò sưởi ở các vị trí khác nhau và các cặp nhiệt điện được sử dụng để đo và kiểm soát nhiệt độ. Tuy nhiên, vì vị trí kẹp cặp nhiệt điện khác với vị trí phôi nên số đọc nhiệt độ không thể là nhiệt độ thực của phôi. Để đo nhiệt độ thực của phôi có nhiều phương pháp, có thể lắp giấy thử nhiệt độ cao hoặc đồng hồ đo nhiệt độ vào phôi.
8. Nguồn bốc hơi và phún xạ ion
Nguồn bay hơi của mạ đa cung nhìn chung có dạng bánh hình tròn, thường được gọi là tiêu bánh tròn, cũng có loại tiêu đa cung hình chữ nhật. Một nam châm được lắp vào đế mục tiêu. Bằng cách di chuyển nam châm qua lại, cường độ của từ trường được thay đổi, đồng thời có thể điều chỉnh tốc độ di chuyển và quỹ đạo của điểm hồ quang. Để giảm nhiệt độ của mục tiêu và đế mục tiêu, đế mục tiêu phải được cấp nước làm mát liên tục. Để đảm bảo độ dẫn điện và nhiệt cao giữa mục tiêu và đế mục tiêu, một miếng đệm thiếc cũng có thể được thêm vào giữa mục tiêu và đế mục tiêu. Lớp phủ phún xạ Magnetron thường sử dụng cực âm phún xạ hình chữ nhật hoặc hình trụ.
9, hệ thống làm mát bằng nước
thường bao gồm tháp nước lạnh, máy nước đá, máy bơm nước, v.v.
10, hệ thống điều khiển công nghiệp
Español
Português