Các thành phần chính của hệ thống phủ chân không là gì?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Các thành phần chính của hệ thống phủ chân không là gì?

1. Phòng chân không

Thiết bị phủ Chủ yếu có hai hình thức: dây chuyền sản xuất lớp phủ liên tục và máy phủ một buồng, sản xuất vật liệu bằng thép không gỉ, hàn hồ quang Argon, xử lý đánh bóng hóa học bề mặt và các thông số kỹ thuật khác nhau của giao diện mặt bích được hàn trên các thành phần buồng chân không.

2, phần thu hút chân không

Trong công nghệ chân không, phần mua lại là một phần quan trọng. Việc mua lại chân không không thể đạt được bằng một thiết bị và phương pháp chân không. Một số máy bơm phải được sử dụng kết hợp, chẳng hạn như bơm cơ học, bơm rễ, hệ thống bơm phân tử, v.v.

3, phần đo độ chân không

Phần đo độ chân không của hệ thống chân không là đo áp suất trong buồng chân không. Giống như một máy bơm chân không, không có thước đo chân không nào có thể đo toàn bộ phạm vi chân không, vì vậy mọi người đã thực hiện nhiều loại đồng hồ đo chân không theo các nguyên tắc và yêu cầu khác nhau. Chẳng hạn như đồng hồ đo nhiệt, đồng hồ đo ion hóa, máy đo pirani, v.v.

4. Phần cung cấp điện

Cung cấp năng lượng mục tiêu chủ yếu bao gồm cung cấp năng lượng DC, cung cấp năng lượng tần số trung gian, cung cấp năng lượng xung và cung cấp năng lượng tần số vô tuyến (RF). Các nhà sản xuất cung cấp năng lượng chung bao gồm AE, ADL, Hottinger, v.v.

5. Hệ thống đầu vào khí xử lý

Các khí xử lý, chẳng hạn như argon (AR), krypton (KR), nitơ (N2), acetylen (C2H2), metan (CH4), hydro (H2), oxy (O2), v.v., thường được cung cấp bởi các xi lanh khí. Van giảm áp suất khí, van dừng khí, đường ống, đồng hồ đo lưu lượng khí, van điện từ, van áp điện, và sau đó vào buồng chân không. Ưu điểm của hệ thống đầu vào khí này là đường ống rất đơn giản và rõ ràng, và dễ dàng sửa chữa hoặc thay thế xi lanh khí. Các máy phủ không ảnh hưởng đến nhau. Cũng có những trường hợp trong đó nhiều máy phủ chia sẻ một bộ xi lanh khí. Tình huống này có thể được nhìn thấy trong một số hội thảo lớp phủ quy mô lớn. Ưu điểm của nó là nó làm giảm sự chiếm dụng của các xi lanh khí, lập kế hoạch thống nhất và bố cục thống nhất. Nhược điểm là do sự gia tăng số lượng khớp, cơ hội rò rỉ không khí tăng lên. Hơn nữa, các máy phủ sẽ can thiệp lẫn nhau và đường ống của một máy phủ có thể rò rỉ không khí, có thể ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm của các máy phủ khác. Ngoài ra, khi thay thế các xi lanh khí, cần phải đảm bảo rằng tất cả các máy ở trạng thái không phải khí.

6. Phần truyền cơ học

Lớp phủ đòi hỏi độ dày của ngoại vi phải đồng đều. Do đó, phải có ba vòng quay trong quá trình phủ để đáp ứng các yêu cầu. Đó là, trong khi bảng phôi lớn được yêu cầu để xoay (I), chất mang phôi nhỏ cũng quay (II) và bản thân phôi có thể xoay cùng một lúc (iii). Trong thiết kế cơ học, nhìn chung có một thiết bị lái xe lớn ở trung tâm của đáy bàn làm việc lớn, và một số bánh xe ngôi sao nhỏ với nó. Nếu sản phẩm được xoay, phôi thường được xoay bởi một ngã ba dịch chuyển.

7, Bộ phận đo nhiệt độ và nhiệt độ

Thiết bị phủ thường có lò sưởi ở các vị trí khác nhau và cặp nhiệt điện được sử dụng để đo và kiểm soát nhiệt độ. Tuy nhiên, vì vị trí kẹp cặp nhiệt điện khác với vị trí phôi, nên việc đọc nhiệt độ không thể là nhiệt độ thực sự của phôi. Để đo nhiệt độ thực sự của phôi, có nhiều phương pháp, bạn có thể cài đặt giấy kiểm tra nhiệt độ cao hoặc đồng hồ đo nhiệt điện trên phôi.

8. Sự bay hơi của ion và nguồn phun

Nguồn bay hơi của lớp mạ đa arc thường có hình dạng của một chiếc bánh tròn, thường được gọi là mục tiêu bánh tròn, và cũng có các mục tiêu đa arc hình chữ nhật. Một nam châm được cài đặt trong cơ sở đích. Bằng cách di chuyển nam châm qua lại, cường độ của từ trường được thay đổi, và tốc độ di chuyển và quỹ đạo của điểm cung có thể được điều chỉnh. Để giảm nhiệt độ của mục tiêu và cơ sở mục tiêu, cơ sở mục tiêu phải được cung cấp liên tục với nước làm mát. Để đảm bảo độ dẫn điện và nhiệt cao giữa mục tiêu và cơ sở mục tiêu, một miếng đệm bằng thiếc cũng có thể được thêm vào giữa mục tiêu và cơ sở mục tiêu. Lớp phủ xạ từ thường sử dụng các cực âm hình chữ nhật hoặc hình trụ.

9, Hệ thống làm mát nước

Nói chung bao gồm tháp nước lạnh, máy nước đá, bơm nước, v.v.

10, Hệ thống kiểm soát công nghiệp

Chia sẻ: