Những yếu tố nào sẽ ảnh hưởng đến hiệu suất lớp phủ của máy phủ chân không?

Những yếu tố nào sẽ ảnh hưởng đến hiệu suất lớp phủ của Máy phủ chân không ?

Nếu một máy phủ chân không muốn phủ một màng tốt, nó phải đảm bảo rằng nhiều yếu tố ở trạng thái bình thường, chẳng hạn như lớp phủ chân không, khoảng cách mục tiêu cơ sở, nhiệt độ bay hơi, nhiệt độ cơ chất, áp suất khí dư và các yếu tố khác. Có một sự sai lệch trong một yếu tố nhất định. Nó sẽ ảnh hưởng đến hiệu suất của lớp phủ của máy phủ chân không. Sau đây là trình chỉnh sửa chân không để giải thích chi tiết các yếu tố nào sẽ ảnh hưởng đến hiệu suất lớp phủ của máy phủ chân không. Tôi hy vọng nó có thể giúp bạn:

1. Tốc độ bay hơi

Kích thước của tốc độ bay hơi có ảnh hưởng lớn đến bộ phim được ký gửi. Do cấu trúc lớp phủ được hình thành bởi tốc độ lắng đọng thấp là lỏng lẻo và dễ dàng lắng đọng các hạt lớn, để đảm bảo độ nén của cấu trúc lớp phủ, nên rất an toàn khi chọn tốc độ bay hơi cao hơn. Khi áp suất của khí dư trong buồng chân không là không đổi, tốc độ bắn phá của việc bắn phá chất nền là một giá trị không đổi. Do đó, sau khi chọn tỷ lệ lắng đọng cao hơn, khí dư có trong màng lắng sẽ giảm, do đó làm giảm phản ứng hóa học giữa các phân tử khí dư và các hạt của vật liệu màng bay hơi. Do đó, độ tinh khiết của phim gửi có thể được cải thiện. Cần lưu ý rằng nếu tốc độ lắng đọng quá cao, nó có thể làm tăng căng thẳng bên trong của màng, dẫn đến sự gia tăng các khiếm khuyết trong lớp phim và thậm chí bẻ khóa lớp phim trong các trường hợp nghiêm trọng. Cụ thể, trong quá trình bay hơi phản ứng, tốc độ lắng đọng thấp hơn có thể được chọn để cho phép khí phản ứng và các hạt vật liệu màng bay hơi phản ứng đủ. Tất nhiên, tốc độ bay hơi khác nhau nên được sử dụng cho sự bốc hơi vật liệu khác nhau. Như một ví dụ thực tế về cách tỷ lệ lắng đọng thấp có thể ảnh hưởng đến hiệu suất của phim là sự lắng đọng của một bộ phim phản chiếu. Ví dụ, khi độ dày màng là 600x10-8cm và thời gian bay hơi là 3S, độ phản xạ là 93%. Tuy nhiên, nếu tốc độ bay hơi bị chậm lại dưới cùng độ dày màng, phải mất 10 phút để hoàn thành việc lắng đọng phim. Tại thời điểm này, độ dày của bộ phim là như nhau. Tuy nhiên, độ phản xạ đã giảm xuống còn 68%.

2. Nhiệt độ cơ chất

Nhiệt độ cơ chất cũng có ảnh hưởng lớn đến lớp phủ bay hơi. Các phân tử khí dư được hấp phụ trên bề mặt chất nền ở nhiệt độ cơ chất cao có thể dễ dàng loại bỏ. Đặc biệt, việc loại trừ các phân tử hơi nước là quan trọng hơn. Hơn nữa, không chỉ dễ dàng thúc đẩy quá trình chuyển đổi từ sự hấp phụ vật lý sang hấp phụ hóa học ở nhiệt độ cao hơn, do đó làm tăng lực liên kết giữa các hạt. Hơn nữa, sự khác biệt giữa nhiệt độ kết tinh lại của các phân tử hơi và nhiệt độ cơ chất có thể giảm, do đó làm giảm hoặc loại bỏ ứng suất bên trong giao diện chất phụ. Ngoài ra, do nhiệt độ cơ chất có liên quan đến trạng thái tinh thể của màng, lớp phủ vô định hình hoặc vi tinh thể có xu hướng dễ dàng hình thành trong điều kiện thấp hoặc không có điều kiện sưởi ấm trên đế. Ngược lại, khi nhiệt độ cao hơn, dễ dàng tạo ra lớp phủ tinh thể. Tăng nhiệt độ cơ chất cũng có lợi cho việc cải thiện các tính chất cơ học của lớp phủ. Tất nhiên, nhiệt độ cơ chất không nên quá cao để ngăn chặn sự cố định lại của lớp phủ bay hơi.

3. Ảnh hưởng của áp suất khí còn lại trong buồng chân không đối với hiệu suất của màng

Áp lực của khí dư trong buồng chân không có ảnh hưởng lớn đến hiệu suất màng. Nếu áp suất quá cao, các phân tử khí dư không chỉ dễ va chạm với các hạt bay hơi, do đó động năng của những người bắn trên đế bị giảm, ảnh hưởng đến độ bám dính của màng. Hơn nữa, áp suất khí còn lại quá mức sẽ ảnh hưởng nghiêm trọng đến độ tinh khiết của màng và giảm hiệu suất của lớp phủ.

4. Ảnh hưởng của nhiệt độ bay hơi đến lớp phủ bay hơi

Ảnh hưởng của nhiệt độ bay hơi đến hiệu suất của màng được thể hiện bằng tốc độ bay hơi như là một hàm của nhiệt độ. Khi nhiệt độ hóa hơi cao, nhiệt của hơi hóa sẽ giảm. Nếu vật liệu màng bị bay hơi trên nhiệt độ bay hơi, ngay cả một sự thay đổi nhỏ về nhiệt độ cũng có thể gây ra sự thay đổi nhanh chóng về tốc độ bay hơi của vật liệu phim. Do đó, điều rất quan trọng là kiểm soát chính xác nhiệt độ bay hơi trong quá trình lắng đọng của màng để tránh độ dốc nhiệt độ lớn khi nguồn bay hơi được làm nóng. Đối với các tài liệu phim dễ dàng siêu phàm, bản thân bộ phim được chọn làm lò sưởi và các biện pháp như bay hơi cũng rất quan trọng. .

Bốn khía cạnh trên là các yếu tố phổ biến ảnh hưởng đến hiệu suất của lớp phủ của máy phủ chân không và chúng cũng là các yếu tố ảnh hưởng thông thường. Trong quá trình phủ của máy phủ chân không, cần phải đảm bảo rằng các yếu tố này ở trạng thái bình thường.