Máy phủ chân không cường độ từ Magnetron là gì và nó hoạt động như thế nào?- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

Máy phủ chân không cường độ từ Magnetron là gì và nó hoạt động như thế nào?

Máy phủ chân không cường độ từ Magnetron là một công nghệ tiên tiến được sử dụng để lắng đọng màng mỏng trên một loạt các chất nền. Nhưng chính xác thì nó là gì, và nó hoạt động như thế nào?

Tại cốt lõi của nó, Máy làm chân máy hút bụi từ tính là một buồng có vị trí cao có chứa vật liệu đích, thường là kim loại hoặc hợp kim và chất nền được phủ. Quá trình này liên quan đến việc bắn phá vật liệu mục tiêu bởi các ion năng lượng cao, loại bỏ các nguyên tử từ bề mặt của nó và lắng đọng chúng vào chất nền, tạo thành một màng mỏng.

Một trong những thành phần chính của máy phủ chân không cường độ từ tính là Magnetron, là một loại nguồn plasma tạo ra một plasma được ion hóa cao trong buồng. Magnetron bao gồm một cực âm (vật liệu đích), cực dương và từ trường. Từ trường phục vụ để giới hạn plasma và tăng cường sự ion hóa của các phân tử khí trong buồng, để phun hiệu quả hơn.

Quá trình bắt đầu bằng cách bơm xuống buồng đến chân không cao, thường là khoảng 10^-6 torr. Vật liệu đích sau đó bị bắn phá bởi các ion, loại bỏ các nguyên tử và tạo ra một dòng các hạt được lắng đọng trên đế. Tốc độ lắng đọng và tính chất màng có thể được kiểm soát bằng cách điều chỉnh thông lượng ion, điện áp mục tiêu và áp suất trong buồng.

Một trong những lợi thế của máy phủ chân không cường độ từ tính là tính linh hoạt của nó. Nó có thể được sử dụng để gửi một loạt các vật liệu, bao gồm kim loại, hợp kim, gốm sứ và chất bán dẫn. Nó cũng có thể được sử dụng để tạo ra các lớp phủ đa lớp, có thể có các tính chất độc đáo như độ cứng được cải thiện, khả năng chống mài mòn hoặc tính chất quang học.

Một ưu điểm khác của máy phủ chân không cường độ từ Magnetron là mức độ đồng nhất cao của nó. Từ trường trong buồng phục vụ để phân phối thông lượng ion đều trên bề mặt của mục tiêu, với tốc độ lắng đọng và độ dày đồng đều hơn của màng.

Tóm lại, máy phủ chân không cường độ từ Magnetron là một công nghệ rất tinh vi được sử dụng rộng rãi trong các ngành công nghiệp như hàng không vũ trụ, điện tử và quang học. Khả năng gửi một loạt các vật liệu, tạo ra lớp phủ đa lớp và sản xuất các bộ phim rất đồng nhất làm cho nó trở thành một công cụ không thể thiếu để nghiên cứu và phát triển cũng như sản xuất quy mô lớn.

Hệ thống lắng đọng phóng xạ DC Magnetron

Ion đa arc & lớp phủ phun có thể được gửi trong một loạt các màu sắc. Rang màu sắc có thể được tăng cường hơn nữa bằng cách đưa các khí phản ứng vào buồng trong quá trình lắng đọng. Các khí phản ứng được sử dụng rộng rãi cho lớp phủ trang trí là nitơ, oxy, argon hoặc acetylen. Các lớp phủ trang trí được sản xuất trong một phạm vi màu nhất định, tùy thuộc vào tỷ lệ kim loại trên khí trong lớp phủ và cấu trúc của lớp phủ. Cả hai yếu tố này có thể được thay đổi bằng cách thay đổi các tham số lắng đọng.

Trước khi lắng đọng, các bộ phận được làm sạch để bề mặt không có bụi hoặc tạp chất hóa học. Khi quá trình phủ đã bắt đầu, tất cả các tham số quy trình có liên tục được giám sát và điều khiển bởi một hệ thống điều khiển máy tính tự động.

• Vật liệu chất nền: thủy tinh, kim loại (thép carbon, thép không gỉ, đồng thau), gốm sứ, nhựa, trang sức.

• Loại cấu trúc: Cấu trúc dọc, #304 Thép không gỉ.

• Phim lớp phủ: Phim kim loại đa chức năng, phim tổng hợp, phim dẫn điện trong suốt, phim tăng cường phản xạ, phim che chắn điện từ, phim trang trí.

• Màu phim: Multi Colors, Gun Black, Titanium Golden Color, Rose Golden Color, gỉ màu, màu tím, đen tối, xanh đậm và các màu khác.

• Loại phim: Tin, CRN, ZRN, Ticn, Ticrn, Tinc, Tialn và DLC.

• Vật tư trong sản xuất: Titanium, crom, zirconium, sắt, mục tiêu hợp kim; Mục tiêu mặt phẳng, mục tiêu hình trụ, mục tiêu đôi, mục tiêu đối diện.

ỨNG DỤNG:

• Đồ thủy tinh, như cốc thủy tinh, đèn thủy tinh, tác phẩm nghệ thuật thủy tinh.

• Vỏ điện thoại bằng nhựa, bộ phận điện thoại.

• Ngói khảm.

• Ngành công nghiệp điện tử, chẳng hạn như phim EMI.

• Đồng hồ các bộ phận, như vỏ đồng hồ và thắt lưng.