Sự lắng đọng màng mỏng bằng cách bay hơi nhiệt là gì?

Một trong những phương pháp phổ biến của lắng đọng hơi vật lý (PVD) là bay hơi nhiệt. Đây là một hình thức lắng đọng phim mỏng, là công nghệ chân không để áp dụng lớp phủ Nhà cung cấp máy chân không bay hơi của vật liệu tinh khiết lên bề mặt của các vật thể khác nhau. Các lớp phủ, còn được gọi là màng, thường nằm trong phạm vi độ dày của angstroms đối với micron và có thể là một vật liệu duy nhất, hoặc có thể là nhiều vật liệu trong một cấu trúc nhiều lớp.
Các vật liệu được áp dụng với các kỹ thuật bay hơi nhiệt có thể là các yếu tố nguyên tử tinh khiết bao gồm cả kim loại và kim loại, hoặc có thể là các phân tử như oxit và nitrid. Đối tượng được phủ được gọi là chất nền, và có thể là bất kỳ nhiều thứ khác nhau như: tấm bán dẫn, pin mặt trời, các thành phần quang học hoặc nhiều khả năng khác.

Sự bay hơi nhiệt liên quan đến việc làm nóng vật liệu rắn bên trong buồng chân không cao, đưa nó đến nhiệt độ tạo ra một số áp suất hơi. Bên trong chân không, ngay cả áp suất hơi tương đối thấp là đủ để tăng một đám mây hơi bên trong buồng. Vật liệu bay hơi này hiện tạo thành một luồng hơi, đi qua buồng và chạm vào chất nền, dính vào nó như một lớp phủ hoặc phim.
Vì, trong trường hợp các quá trình bay hơi nhiệt, vật liệu được làm nóng đến điểm nóng chảy của nó và là chất lỏng, nó thường nằm ở dưới cùng của buồng, thường là trong một số loại nồi nấu kim loại thẳng đứng. Hơi nước sau đó tăng lên trên nguồn dưới cùng này và các chất nền được giữ đảo ngược trong các đồ đạc thích hợp ở đầu buồng. Do đó, các bề mặt dự định được phủ là hướng về phía vật liệu nguồn nóng để nhận lớp phủ của chúng.
Bước